應(yīng)用領(lǐng)域:主要用于光伏電池片制程中鍍膜(LPCVD)工藝。
產(chǎn)品介紹: 公司研發(fā)的新型納米陶瓷材料,通過獨創(chuàng)的鍍膜工藝,均勻涂于高純石英管內(nèi)壁,能有效隔 絕石英管與化學品結(jié)晶,從而避免因不同的材料在溫差下產(chǎn)生應(yīng)力差拉裂石英管,使壽命可以達到6個月。